特許

J-GLOBAL ID：200903057121126580

ポリベンズオキサゾール前駆体及びレジスト溶液の製造方法

発明者： レカイ ゼチ ,  ヘルムート アーネ ,  エフア リツセル
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-091844
公開番号（公開出願番号）：特開平8-269198
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月15日
要約：

【要約】【課題】 微細濾過可能の良好な可溶性のポリベンズオキサゾール前駆体の溶液又はこの種の前駆体をベースとするレジスト溶液及び光活性成分の価格的に有利な製造方法及び廃棄物の発生を回避して環境に優しい前駆体の製造を可能にする方法を提供する。【解決手段】 ハロゲン化ジカルボン酸を有機性溶剤中のビス-(o-アミノフェノール)とこの溶剤に不溶の第三窒素原子を有するポリマーの存在下に反応させ、余分のポリマー又はハロゲン化水素を反応溶液から分離する。場合によっては反応溶液を更に光活性成分と混合する。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性のポリベンズオキサゾール前駆体を製造する方法において、ハロゲン化ジカルボン酸を有機性溶剤中でビス-(o-アミノフェノール)とこの溶剤に不溶の第三窒素原子を含むポリマーの存在下に反応させ、この反応溶液から余分のポリマー及びそのハロゲン化水素を分離することを特徴とするポリベンズオキサゾール前駆体の製造方法。

IPC (4件)：

C08G 73/22 NTR ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/039

FI (4件)：

C08G 73/22 NTR ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/039