特許
J-GLOBAL ID：200903057121608828
研磨パッド、その製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052345
公開番号（公開出願番号）：特開2004-261887
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】孔あけ加工が施され高い研磨性能を有する一体型窓付き研磨パッドを提供すること、およびこのパッドを効率よく製造することができる製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】被研磨物を研磨する表面の一部に透光性窓部2を有し、かつこの窓部および窓部から0〜20mmの周辺部分3を除く研磨面に研磨剤を保持するための複数の孔4が均一に形成して得られる一体型窓付き研磨パッドである。このパッドの製造方法によれば、窓部およびその周辺部分を除く研磨面に前記複数の孔が効率よく形成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被研磨物を研磨する表面の一部に透光性窓部が一体に形成されており、かつこの窓部およびこの窓部から0〜20mmの周辺部分を除く研磨面に研磨剤を保持するための複数の孔が均一に形成されていることを特徴とする一体型窓付き研磨パッド。
IPC (3件)：
B24B37/00
, B23K26/00
, H01L21/304
B24B37/00 C
, B23K26/00 330
, H01L21/304 622F
, H01L21/304 622S
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB03
, 3C058DA12
, 3C058DA17
, 4E068AF01
, 4E068DA00
, 4E068DB10
