特許

J-GLOBAL ID：200903057127839830

製品の光学的認識方法及び装置

発明者： 小野 知
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-227184
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055820
出願日： 1998年08月11日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェーハ等の製品の表面上に当該製品を識別するために付された識別標識(ID)を読み取る場合において、たとえその周囲に傷、膜の異なる個所等があっても、当該識別標識を正確に読みとのことのできる、識別標識の光学的認識方法及び装置を提供することを課題とする。【解決手段】 識別標識の表面に対して角度の異なる複数の位置から当該製品の識別標識に対して光を照射して、各照射位置における認識結果から最適値を自動的に選択して、当該識別標識の認識結果とすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

製品の表面上に当該製品を識別するために付された識別標識を光学的に認識する方法において、前記表面に対して角度の異なる複数の位置から当該製品の識別標識に対して光を照射して、各照射位置における認識結果から最適値を自動的に選択して、当該識別標識の認識結果とすることを特徴とする製品の光学的認識方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01J 1/04

FI (2件)：

G01N 21/88 E ,  G01J 1/04 G

Fターム (15件)：

2G051AA01 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CB01 ,  2G051EA30 ,  2G065AB22 ,  2G065AB28 ,  2G065AB30 ,  2G065BC40 ,  2G065CA29 ,  2G065CA30 ,  2G065DA20