特許
J-GLOBAL ID：200903057128772275
透明電極
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-318681
公開番号（公開出願番号）：特開平8-180748
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【構成】 ガラス基板上に、非晶性で厚さ1000Å以上のインジウム・スズ酸化物を主成分とする透明導電膜を積層し、さらにその上に下層よりも結晶性が高く厚さ100〜300Åのインジウム・スズ酸化物を主成分とする透明導電膜を積層したことを特徴とする透明電極。【効果】 エッチング性を損なわずに膜耐久性能の向上がはかれ、液晶ディスプレイ等に適した透明電極材料を提供できる。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に、非晶性で厚さ1000Å以上のインジウム・スズ酸化物を主成分とする透明導電膜を積層し、さらにその上に下層よりも結晶性が高く厚さ100〜300Åのインジウム・スズ酸化物を主成分とする透明導電膜を積層したことを特徴とする透明電極。
IPC (5件)：
H01B 13/00 503
, C23C 14/08
, G02F 1/1343
, C23C 14/35
, C23C 14/38
