特許

J-GLOBAL ID：200903057129736850

回転カップ式液体供給装置

発明者： 佐合 宏仁 ,  藤山 重美 ,  遠藤 弘樹 ,  上田 康爾
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-283092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136572
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：

【要約】【目的】 回転カップ式液体供給装置における液体の回収を効率良く行う。【構成】 ウェーハW表面から飛散した塗布液17は貯留部7内に溜まる。そこで、蓋体11,13をインナーカップ4及びケーシング2から外すとともにチャック5にてウェーハWを持ち上げ、次工程にウェーハWを搬送する間に、ノズル16を貯留部7まで移動し、その先端を貯留部7内の塗布液17に浸漬し塗布液17を吸引回収する。

請求項（抜粋）：

ケーシング内にスピンナーにて回転せしめられるインナーカップを配置し、このインナーカップ内に被処理物のチャックを設けた回転カップ式液体供給装置において、前記インナーカップの内周部側には供給された液の貯留部が形成され、更に貯留部に溜まった液体を吸引回収するノズルを移動可能に配置したことを特徴とする回転カップ式液体供給装置。

IPC (5件)：

B05C 11/08 ,  B05C 11/10 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/306 J