特許
J-GLOBAL ID:200903057130749477

微細なスリット状開口部を有する金属製薄板の欠陥修正方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 土井 育郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-267129
公開番号(公開出願番号):特開2003-071516
出願日: 2001年09月04日
公開日(公表日): 2003年03月11日
要約:
【要約】【課題】 フォトエッチング法にて製造された微細なスリット状開口部を有する金属製薄板における簾部分に生じる変形を修正するための欠陥修正方法を提供すること。【解決手段】 簾部分11の根元の2辺12,13を掴み、簾方向に平行な張力を付与しながら、一方の辺12に対して他方の辺13を金属製薄板10と同一の面内で簾方向と直角方向にスライドさせることにより、簾部分11aの変形を修正する。この方法を用いることにより、フォトエッチング法にて製造されたスリット状の開口を有する金属製薄板10の簾部分11に発生したねじれ、位置ずれ、へこみ(出っ張り)等の変形を修正することができる。
請求項(抜粋):
微細なスリット状開口部を有する金属製薄板における簾部分の変形を修正する方法であって、簾部分の根元の2辺を掴み、簾方向に平行な張力を付与しながら、一方の辺に対して他方の辺を金属製薄板と同一の面内で簾方向と直角方向にスライドさせることにより、簾部分の変形を修正することを特徴とする微細なスリット状開口部を有する金属製薄板の欠陥修正方法。
IPC (2件):
B21D 1/00 ,  G03F 7/20 501
FI (2件):
B21D 1/00 Z ,  G03F 7/20 501
Fターム (3件):
2H097LA20 ,  4E003AA01 ,  4E003CA06
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭62-114726

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