6軸力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-059447
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254843
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】他軸干渉の問題を抑制し、測定可能な軸力のレベルを飛躍的に高め、応用範囲を拡大し、実用化に寄与する6軸力センサを提供する。【解決手段】半導体基板を利用して形成され、かつ少なくとも外力を受ける作用部21およびこの作用部を支持する支持部22を有する6軸力センサチップ11と、当該6軸力センサチップの周囲に配置され、外力が加わる外力印加板34、6軸力センサチップを支持する台座部12、外力印加板を台座部に固定する外力緩衝機構(31,32,33)、外力伝達機構である連結ロッド17から成る構造体を備える。外力印加板34と作用部21が連結ロッド17で連結されている。

請求項（抜粋）：

半導体基板で形成され、外力を受ける作用部とこの作用部を支持する支持部を少なくとも有する6軸力センサチップと、前記6軸力センサチップの周囲に配置され、前記外力が加わる外力印加部と、前記6軸力センサチップを支持する台座部と、前記外力印加部を前記台座部に固定する外力緩衝機構と、外力伝達機構とから成る構造体を備え、前記外力印加部と前記作用部が前記外力伝達機構で連結されていることを特徴とする6軸力センサ。

IPC (3件)：

G01L 5/16 , B25J 19/02 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 5/16 , B25J 19/02 , H01L 29/84 A

Fターム (24件)：

2F051AA10 , 2F051AB09 , 2F051BA07 , 2F051DA03 , 2F051DB03 , 3C007KS33 , 3C007KV00 , 3C007KV06 , 3C007KW03 , 3C007KW05 , 4M112AA04 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA24 , 4M112CA27 , 4M112DA03 , 4M112DA06 , 4M112DA09 , 4M112DA10 , 4M112DA15 , 4M112FA01 , 4M112FA07 , 4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-087622
特公昭63-061609
特公平6-017839

審査官引用 (3件)

特開平3-087622
特公昭63-061609
特公平6-017839

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