特許

J-GLOBAL ID：200903057136939979

表面弾性波素子用電極

発明者： 中山 正俊 ,  佐藤 勝男 ,  初田 蘭子 ,  柴原 正典
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211449
公開番号（公開出願番号）：特開平5-037284
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】 表面弾性波素子と電極の結合力を向上させること。【構成】 ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と、Al又はAlを主成分と電極層と、圧電体層とをこの順に有する表面弾性波素子において、前記ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と前記電極層との間に、AlN、Si3 N4 、SiO2 、ZnO、Al2 O3 より選択した中間層を介在させたことを特徴とする。【効果】 表面弾性波素子と電極の結合力が向上したこと。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と、Al又はAlを主成分と電極層と、圧電体層とをこの順に有する表面弾性波素子において、前記ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と前記電極層との間に、AlN、Si3N4 、SiO2 、ZnO、Al2 O3より選択した中間層を介在させたことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-020910
  
• 特開昭64-020714