位置決め装置、アライメント装置、及び、位置決め方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-075223
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166475
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】対象物の運動により生ずる反力及び振動が、レンズ系の如き他の要素に伝達しないように、対象物を支持、位置決め、及び、制御する。【構成】外部振動、及び、対象物ステージ30からの反力によって生ずる振動を絶縁する反作用フレーム61を備える。対象物ステージは2つの方向に運動する。反作用フレームは、2つの従動子を備える。協働する直動型の力アクチュエータが、対象物ステージ及び従動子にに設けられ、対象物ステージを第1及び第2の方向において位置決めする。反作用フレームは、ベース構造に取り付けられ、対象物ステージは、反作用フレームと独立して空間に支持される。従動子72は、一対のアーム74、74’を有し、対象物ステージの重心がある一対の平行な平面の中で運動する。アクチュエータ駆動手段の位置決め力は、対象物ステージの重心における力のモーメントのベクトル和が、実質的にゼロになるように制御される。

請求項（抜粋）：

ベース構造上で作動する位置決め装置において、(a) 前記ベース構造に取り付けられた反作用フレームを含む反作用フレームアセンブリと、(b) 対象物ステージのベースに対して相対的に運動する対象物ステージと、(c) 前記反作用フレームとは独立して前記対象物ステージを前記対象物ステージのベースから間隔をおいて支持するための手段と、(d) 前記対象物ステージ及び前記反作用フレームアセンブリに取り付けられ、前記対象物ステージを位置決めするための一対になって協働し、力を発生する直動型のアクチュエータ手段とを備え、前記対象物ステージのベース及び前記対象物ステージが、前記アクチュエータ手段からの反力から絶縁され、これにより、前記対象物ステージのベース及び前記対象物ステージへの振動の伝達が最小となることを特徴とする位置決め装置。

IPC (2件)：

G12B 5/00 , H01L 21/68

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-198326
特開昭63-153819
特開平2-199813

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