特許
J-GLOBAL ID：200903057142696344
高速原子線源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-141330
公開番号（公開出願番号）：特開平8-190995
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】 低ガス圧で放電し、高い中性化率が得られ、多量のビーム量が得られ、且つ指向性の良い高速原子線源を提供する。【構成】 原子放出孔を有する第1の板状陰極21と、陰極に対向した孔25を有する板状の陽極22と、陽極孔25を挟みかつ第1の板状陰極21に対向して設置された第2の板状陰極23とを備えた容器24と、相対的な印加電圧として、第1及び第2の陰極21,23に低電位、板状の陽極22に高電位を与える手段と、容器24内に放電を起こすガスを導入するガス導入部4と、容器内の放電部に磁場を発生させる磁場発生器28とを備え、板状の陽極22に設けられている孔25の直径もしくは一辺の長さCが、板状の陽極22の厚みAの3倍より大きい。又、板状の陽極22に設けられている孔の直径もしくは一辺の長さ(φd)が、容器の内壁径もしくは一辺の長さ(φD)に対し、80%以上である。
請求項（抜粋）：
原子放出孔を有する第1の板状陰極と、一つ以上の孔を有する板状の陽極と、前記第1の板状陰極とは別の第2の板状陰極が、前記板状の陽極を挟みかつその板状の陽極に対向して設置されており、相対的な印加電圧として、前記第1及び第2の陰極に低電位、前記板状の陽極に高電位を与える手段と、前記第1及び第2の陰極と板状の陽極間に放電を起こすガスを導入するガス導入部と、放電部に磁場を発生させる磁場発生器とを備え、前記板状の陽極に設けられている孔の直径もしくは一辺の長さが、前記板状の陽極の厚みの3倍より大きいことを特徴とする高速原子線源。
IPC (3件)：
H05H 3/02
, G21K 5/04
, H01J 27/04
