特許
J-GLOBAL ID:200903057147318682

カラーフィルターレジスト溶液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-022772
公開番号(公開出願番号):特開平8-220760
出願日: 1995年02月10日
公開日(公表日): 1996年08月30日
要約:
【要約】【目的】 色材料、光重合開始系、エチレン性化合物、有機高分子分散剤及び溶剤を含有するカラーフィルターレジスト溶液の、現像性、透明性、耐溶剤性、基板との接着性を改善する。【構成】 フェニル基を有するモノマーとカルボン酸基を有するモノマーとの共重合体よりなる有機高分子分散剤を色材料の5〜50重量%含む。界面活性剤の色材料への吸着量が色材料の2〜15重量%。色材料を平均粒径0.2μm以下に分散させる。【効果】 本発明に係る有機高分子分散剤は、色材料を高濃度にカラーフィルターレジスト溶液中に分散させる。また、塗布、パターン露光後、現像した際に、露光部分のカラーフィルターレジストの基板との密着性を低下させることなく、高濃度に色材料を含有するカラーフィルターレジストの未露光部分を現像中に速やかに溶出させる。露光部分の基板との十分な接着性を保持し、良好な現像性を実現し、高品質なレジストパターンを形成できる。
請求項(抜粋):
色材料、光重合開始系、エチレン性化合物、有機高分子分散剤及び溶剤を含有するカラーフィルターレジスト溶液において、該有機高分子分散剤がフェニル基を有するモノマーとカルボン酸基を有するモノマーとの共重合体であり、その含有量が色材料の5〜50重量%であり、該界面活性剤の色材料への吸着量が色材料の2〜15重量%であり、かつ、色材料は平均粒径0.2μm以下の分散粒子として分散していることを特徴とするカラーフィルターレジスト溶液。
IPC (7件):
G03F 7/033 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 29/32
FI (7件):
G03F 7/033 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 29/32
引用特許:
審査官引用 (3件)

前のページに戻る