特許
J-GLOBAL ID：200903057147387501
半導体装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271409
公開番号（公開出願番号）：特開平5-110024
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 油室のシールを改善して油漏れを防止できる椅子用の支持カラムを提供する。【構成】 第1の中空円筒状本体Aと上端が椅子の座席の下に固定され、第1の本体の内部にあり摺動可能な軸体としての第2の円筒状本体Bと第2および第1の本体の内部に延在し、座席の下の指令レバーにより垂直に移動可能な指令棒8から成り油を収容するそれぞれ上部および下部の室X,Yの2室を形成し、座席の下の指令レバー作動により高さ変動を可能にするために1方の室から他方の室への油の通過を許容しまたは妨げるための弁手段10を有する第1の摺動自在のピストン手段5を伴う油圧空気式に減衰調節可能な椅子用の支持カラムにおいて、2個の第2の浮遊ピストン手段が第1および第2の本体の間に設けられ、1個は両方の油室の連結を実現させる第1ピストン手段の上6にそして1個はその下4に第1の本体Aの内側に一対で配置されている。
請求項（抜粋）：
Si含有物からなる下地電極と、その下地電極の表面に配設されるAl膜もしくはAl<SB>2 </SB>Ox(O<x<3)膜と、その上面に配設されるTa<SB>2 </SB>O<SB>5 </SB>膜からなるキャパシタ絶縁膜と、その絶縁膜上面に配設される上部電極とからなるキャパシタを有する半導体装置。
IPC (2件)：
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