特許
J-GLOBAL ID：200903057148776439
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223108
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069503
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】 簡素な装置構成の基板処理装置。【解決手段】 キャリア搬送装置CTRは、チャック72を用いてキャリアステージ10上の一対のキャリアCを受け取り、スライドテーブル21、22に移載する。スライドテーブル21、22は、矢印のように相対的に移動して、一対のキャリアC相互に半ピッチの位置ズレを生じさせる。チャック72は、まずスライドテーブル21側のキャリアCから第1ウェハ群を受け取り、次にスライドテーブル22側のキャリアCから第1ウェハ群の隙間に第2ウェハ群が入り込むように、第2ウェハ群を受け取り、半ピッチで整列された第3ウェハ群を得る。
請求項（抜粋）：
キャリアステージに受け取った一対のキャリア中にそれぞれ等ピッチで整立収納された基板を半ピッチにピッチ変換して配列させ、当該半ピッチで配列された基板を処理液で満たされた処理槽中で浸漬処理する基板処理装置において、キャリアステージから搬送される一対のキャリアを載置可能であるとともに、載置した一方のキャリア中に収納された第1群の基板を等ピッチで配列された状態で当該一方のキャリア上の第1受渡し位置に移動させる第1移動部材と、載置した他方のキャリア中に収納された第2群の基板を等ピッチで配列された状態で当該他方のキャリア上の第2受渡し位置に移動させる第2移動部材とを有するキャリア載置台と、前記キャリアを前記キャリアステージから前記キャリア載置台に移動させる際に当該キャリアを保持するキャリア保持部と、第1移動部材によって前記第1受渡し位置に移動させられた前記第1群の基板を等ピッチで配列された状態で保持可能な第1基板保持部と、前記第2受渡し位置に移動させられた前記第2群の基板を等ピッチで配列された状態で保持可能な第2基板保持部とを設けたチャック機構を備える搬送手段と、前記搬送手段が移動して前記第1基板保持部に保持された前記第1群の基板が前記第2受渡し位置側に搬送された場合において前記第2移動部材によって前記他方のキャリア中の前記第2群の基板を前記第2受渡し位置に移動させたときに前記第2群の基板が前記第1群の基板の隙間に接触しない状態で挿入されるように、前記第1及び第2受渡し位置の基板並び方向における相対的位置を調節する位置調節手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B65G 49/07
, H01L 21/68
H01L 21/304 341 C
, B65G 49/07 F
, H01L 21/68 D
