位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202954
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026884
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】アブソリュート方式で位置検出でき、長い距離を高精度で測定できる位置検出装置を提供すること。【構成】永久磁石の絶対位置をアブソリュートで検出できる磁歪式センサと、ロッドに磁気目盛を一定ピッチ間隔で設けた磁気感応式センサとを平行に設置し、永久磁石とロッドとを相互に固定するとともに、磁歪式センサで求められた検出値のうちの磁気目盛のピッチ範囲内の値を、磁気感応式センサの検出値で補正する補正手段を設けてある。

請求項（抜粋）：

可動部の絶対位置を全ストローク領域にわたってアブソリュートで検出できる第1の位置センサと、検出用目盛を一定ピッチ間隔で設け、可動部の絶対位置をこのピッチ範囲内ではアブソリュートで検出でき、かつこの範囲を越えるとインクリメンタルとなる第2の位置センサとを平行に設置し、両方の位置センサの可動部を相互に固定し、第1の位置センサで求められた検出値のうちの上記ピッチ範囲内の値を、第2の位置センサの検出値で補正する補正手段を設けたことを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

G01D 5/245 102 , G01D 5/245 , G01B 17/00 , G01D 5/14

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-053114
特開昭61-112923
特開平2-045712

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