特許
J-GLOBAL ID：200903057163396758
レーザ測定装置の回転支持機構
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
松浦 憲三 (外1名)
, 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253139
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110207
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】移動する被測定物の変位を正確に測定することができるレーザ測定装置の回転支持機構を提供する。【構成】レーザ測定装置の回転支持機構10を、一対のDDモータ12、14、球面軸受16等で構成する。DDモータ12のロータにL字状のブラケット18を固着し、このブラケット18の側面にDDモータ14を固着する。DDモータ12、14の各ロータ中心軸の延長線は直交しており、この直交位置に球面軸受16の鋼球20を配置する。鋼球20は、マグネット23の磁力により球面座22に3点支持される。また、鋼球20は、レーザ測定装置のレーザ干渉計本体26に固着される。レーザ干渉計本体26は、その後端部がカップリング30を介してブラケット28に連結され、このブラケット28はDDモータ14のロータに固着される。カップリング30は、板バネを有しており、この板バネによってブラケット28からレーザ干渉計本体26に加わる余分な力を吸収する。
請求項（抜粋）：
2次元平面内、又は3次元空間内を移動する被測定物に、レーザ光を照射し、その反射レーザ光と参照光との干渉によって前記被測定物の変位を測定するレーザ測定装置の回転支持機構に於いて、前記レーザ測定装置は、球面軸受を介して全方位に回転自在に支持されると共に球面軸受の回動中心を測定の基準点としたことを特徴とするレーザ測定装置の回転支持機構。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01J 3/45
, G01J 9/02
