特許

J-GLOBAL ID：200903057164581915

光デバイス組立方法及びその実施装置

発明者： 望月 威人 ,  蓮見 啓二 ,  渡瀬 進一郎 ,  但馬 武 ,  加藤 猛
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166577
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029142
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 光デバイス組立のスループット向上。【構成】 光デバイス組立方法及びその実施装置であって、発光デバイス1と光結合する受光デバイス2との位置合わせにおいて、光軸であるX軸上のO、X1〜Xm、X1〜Xnの各点へ発光デバイス1を移動させた後、YZ平面Pの光量最大位置検出を行い、最大値を各X座標の測定結果としながら測定を繰り返し、測定完了後結果を比較し最大位置を検出して光結合位置を補正する。

請求項（抜粋）：

発光部を有する第1の光デバイスをコンピュータで制御可能な直交3軸自動移動ステージを備えた第1保持手段で保持し、前記第1の光デバイスの発光部と光結合する受光部を有する第2の光デバイスをコンピュータで制御可能な直交3軸の自動ステージを備えた第2保持手段で保持し、前記第1の光デバイスの発光部から発光された光を第2の光デバイスの受光部で受光し、光量測定手段で結合光量を測定し、その測定結果をデジタル値としてコンピュータに取り込み、光軸方向であるX軸の光量最大位置検出は、検出開始点Oを中心に、X軸に垂直もしくはほぼ垂直なYZ平面Pの光量最大位置の検出を行い、この時の最大値をO点における測定結果とし、そのYZ座標を記憶し、次に、所定の間隔mだけX座標上を移動した後、X座標X1を中心にYZ平面Pの光量最大位置の検出を行い、最大値をX1点における測定結果とし、そのYZ座標を記憶し、同様にして指定範囲内のXm点まで測定を続けその結果を記憶し、さらに、反対方向のX1〜Xn点まで測定を行いその結果を記憶し、全測定が完了した後、前記各点における測定結果を比較して最大位置を検出し、これによりX軸上の光量最大位置への補正を行い、この補正された光量最大位置により第1の光デバイスと光結合する第2の光デバイスとの光結合位置合せを行うことを特徴とする光デバイス組立方法。