特許
J-GLOBAL ID：200903057170590195
位置決めテーブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169569
公開番号（公開出願番号）：特開平7-125838
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：
【要約】【目的】本発明は、位置決めテーブル装置において、簡易な構成で高速かつ高精度でベース手段に対してホルダ手段を位置決めし保持する。【構成】所定の位置決め対象物体が載置されるホルダ手段13と、ホルダ手段13が載置されるベース手段11との一部13A、11A又は全部を磁性材料で形成すると共に、磁性材料で形成された転動手段12をベース手段11とホルダ手段13との間に挟むことにより、ホルダ手段13をベース手段11に対して高速かつ高精度に移動させて位置決めすることができ、さらに電磁石手段14によつて必要に応じて、転動手段12を介してホルダ手段13とベース手段11との間に磁気吸着力を発生させることにより、位置決めしたホルダ手段13の位置を高い精度で保持することができる。
請求項（抜粋）：
一部又は全部が磁性材料で形成され、所定の位置決め対象物体が載置されるホルダ手段と、一部又は全部が磁性材料で形成され、前記ホルダ手段が載置されるベース手段と、磁性材料で形成されると共に、前記ベース手段と前記ホルダ手段とに挟まれ、前記ホルダ手段を前記ベース手段に対して移動可能に支持させる転動手段と、前記転動手段を介して前記ホルダ手段と前記ベース手段との間に磁気吸着力を発生させる電磁石手段とを具え、前記ホルダ手段を前記ベース手段上の一平面内でXYθ方向に位置決めすると共に、当該位置決めした前記ホルダ手段を前記磁気吸着力で保持するようにしたことを特徴とする位置決めテーブル装置。
IPC (6件)：
B65G 47/88
, B23Q 1/56
, H01L 21/027
, H01L 21/68
, H05K 13/04
, B23Q 3/18
