特許

J-GLOBAL ID：200903057171720408

膜被覆基体

発明者： 西山 哲 ,  江部 明憲 ,  緒方 潔
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296965
公開番号（公開出願番号）：特開平7-150336
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：

【要約】【構成】 基体上に、窒化クロムと窒化ホウ素とが混在した膜が形成されている膜被覆基体。【効果】 高温での耐食性全般を向上させることができ、さらに硬度に優れた膜被覆基体を得ることができる。窒化クロムと窒化ホウ素とが混在した膜が、窒素原子と結合しないクロム原子を含有する場合には、化学的活性度が高いクロム原子の性質により、より基体との密着性が向上した膜を得ることができる。また、金属クロムが含有されることとなるので、延性という特性が付加されることとなり、膜の靱性を向上させることができる。窒化クロムと窒化ホウ素とが混在した膜が、窒素原子と結合しないホウ素原子を含有する場合には、窒化ホウ素膜の内部応力を低減させるホウ素原子を含有することとなるので、基体との密着性及び靱性を一層向上させることができる。

請求項（抜粋）：

基体上に、窒化クロムと窒化ホウ素とが混在した膜が形成されていることを特徴とする膜被覆基体。