電子部品の電極を形成する方法およびそれに用いる装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-276552
公開番号（公開出願番号）：特開平9-087828
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】生産工程の省力化が図れ、しかも、膜厚の異なる電極を形成することができる、電子部品の電極形成方法およびそれに用いられる電極形成装置を提供する。【解決手段】ワーク22を準備する工程と、ワーク22の主面上にマスク部材12を配置する工程と、マスク部材12の主面側から電極となる電極材料を付与する工程とを含み、マスク部材12は、たとえば矩形環状の第1のマスキング部14と、たとえば矩形の第2のマスキング部16と、第2のマスキング部16を第1のマスキング部14に支持するたとえば4つの短冊状の疑似マスキング部18a,18b,18c,18dとで構成される。この場合、マスク部材12には、第1のマスキング部14と第2のマスキング部16と疑似マスキング部18a〜18dとが協働して、貫通孔20a,20b,20c,20dが形成される。

請求項（抜粋）：

ワークを準備する工程、前記ワークの主面上にマスクを配置する工程、および前記マスクの主面側から電極となる電極材料を付与する工程を含み、前記マスクは、前記マスクの一方主面から他方主面に貫通される貫通孔と、前記ワークの所定の部分に接触し、前記ワークの所定の部分を遮蔽するマスキング部と、前記ワークの厚み方向に前記ワークと間隔を隔てて形成され、前記ワークの所定の部分を疑似的に遮蔽する疑似マスキング部とを含む、電子部品の電極を形成する方法。

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