特許
J-GLOBAL ID：200903057174906553
微小揺動ミラー素子及びこれを用いたレーザ走査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-122782
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305159
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 微小揺動ミラー、一対の固定電極板、及び一対のミラー受が半導体基板上に微細加工技術によって形成された微小揺動ミラー素子を用いたレーザ走査装置を提供すること。【解決手段】 微小揺動ミラー、一対の固定電極板、及び一対のミラー受が半導体基板上に微細加工技術によって形成された半導体の微小揺動ミラー素子1、半導体レーザ2、及び集光用微小レンズ3をベース基板4上に取り付けて構成した微小揺動ミラーモジュールをレ-ザ光の出射窓を有する真空容器9に封入し、且つ周期的に変化する駆動電圧であって最大値と最小値の間を時間と共に非線形関数的に下降し次いで上昇する非線形波形の電圧で駆動して、微小揺動ミラーの変位角が時間に対して直線的に変化するようにした。
請求項（抜粋）：
揺動電極板部とミラー部からなる微小揺動ミラー、前記揺動電極板部との間に静電気力を発生するようにその左右に対称的に配置された一対の固定電極板、及び前記微小揺動ミラーのストッパー並びにその帯電電荷を除去するアース部材として機能するようにその左右に対称的に配置された一対のミラー受が半導体基板上に微細加工技術によって形成された半導体の微小揺動ミラー素子において、周期的に変化する駆動電圧であって最大値と最小値の間を時間と共に非線形関数的に下降し次いで上昇する非線形波形の駆動電圧が前記揺動電極板部及び一対の固定電極板に与えられることによって、前記微小揺動ミラーの変位角が時間に対して直線的に変化することを特徴とする微小揺動ミラー素子。
引用特許：
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