特許
J-GLOBAL ID：200903057181608444
圧電共振部品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010774
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224674
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 分極を破壊することなく素子厚みの調整を兼ねて電極膜を形成することができ、電極膜の圧電基板に対する密着性に優れ、かつ耐半田耐熱性に優れた電極を形成し得る圧電共振部品の製造方法を得る。【構成】 予め矢印P方向に分極処理された圧電基板1を用意し、圧電基板1の上面にスパッタリングにより第1の電極膜2a,2bを形成し、次に第1の電極膜2a,2b上に蒸着法により第2の電極膜3a,3bを形成する、厚みすべり振動モードを利用した圧電共振部品の製造方法。
請求項（抜粋）：
予め分極処理された圧電基板に電極を形成する工程を有する厚みすべり振動モードを利用した圧電共振部品の製造方法において、前記電極の形成工程が、スパッタリングにより第1の電極膜を形成する工程と、第1の電極膜上に蒸着により第2の電極膜を形成する工程とを備えることを特徴とする、圧電共振部品の製造方法。
引用特許：
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