特許

J-GLOBAL ID：200903057188189129

酸素センサ

発明者： 木村 光照
出願人/特許権者： 木村 光照 ,  リコー精器株式会社
代理人 (1件)： 佐竹 良明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-349715
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157729
出願日： 1991年12月07日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】 多孔質基板を用いない、消費電力の小さな酸素センサを得る。【構成】 基板10上に形成された電気絶縁体薄膜15であって、該基板にあけられた穴27の上に位置している部分15aに薄膜ヒータ14を形成する。この薄膜ヒータの上に、電極21,23で両側を挟んだジルコニア固体電解質の薄膜22を密着形成する。そして、これら電極の一方21が被検ガスにさらされるよう、薄膜ヒータおよび電気絶縁体薄膜に基板の穴と連通する透孔28をあける。そして、限界電流特性を得るために、基板にあいている穴を、上側は電気絶縁体薄膜15で、下側は閉塞部材29でそれぞれ塞ぎ、これら電気絶縁体薄膜または閉塞部材のいずれかに被検ガスが拡散するための小孔30,31をあける。

請求項（抜粋）：

基板(10)上に形成された電気絶縁体薄膜(15)であって、該基板にあけられた穴(27)の上に位置している部分(15a)に薄膜ヒータ(14)が密着形成され、電極(21,23)で両側を挟んだジルコニア固体電解質の薄膜(22)が該薄膜ヒータ上にさらに密着形成されており、該電極の一方(21)が被検ガスにさらされるよう、該薄膜ヒータおよび該電気絶縁体薄膜に該穴と連通する透孔(28)があいている酸素センサ。

FI (3件)：

G01N 27/46 325 E ,  G01N 27/46 325 H ,  G01N 27/46 325 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-166854
  
• 特開昭61-147154
  
• 特開昭63-259459
  
• 特公昭49-019838