特許

J-GLOBAL ID：200903057193057656

レーザ伝送ミラーの位置制御装置

発明者： 平山 隆 ,  原川 哲美 ,  杉橋 敦史 ,  城戸 基
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096651
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277075
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】 レーザ伝送ミラーを介してレーザ光を長距離伝送する設備において、レーザ伝送ミラーの位置を高精度で制御することができるレーザ伝送ミラー位置制御装置を提供する。【解決手段】 ミラー位置制御手段11と、ミラー駆動手段13と、移動体外乱制御手段15と、移動体に取り付けられた移動体加速度センサ19とを備え、移動体外乱制御手段15が移動体加速度信号をミラー駆動手段13の伝達関数の逆数よりなる伝達関数で角度外乱制御信号Δθd に変換し、ミラー位置制御手段11からのミラー角度制御信号Δθm とともにミラー駆動手段13へ出力する。レーザ伝送ミラー位置がミラー位置制御手段11によりフィードバック制御されるとともに、移動体の振動による外乱が移動体外乱制御手段15によりフィードフォワード制御される。この結果、移動体の振動による外乱はレーザ光伝送に影響にしない程度に低減され、レーザ伝送ミラーの位置が高精度で制御される。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器と、レーザ伝送ミラーと、レーザ光光軸に沿って移動する移動体と、レーザ伝送ミラーからのレーザ光を受光する、移動体上のレーザ光受光手段とを備えた装置において、ミラー位置制御手段と、ミラー駆動手段と、移動体外乱制御手段と、移動体に取り付けられた移動体加速度センサとを備え、移動体外乱制御手段が移動体加速度信号をミラー駆動手段の伝達関数の逆数よりなる伝達関数で角度外乱制御信号に変換し、ミラー位置制御手段からのミラー角度制御信号とともにミラー駆動手段へ出力することを特徴とするレーザ伝送ミラーの位置制御装置。

IPC (2件)：

B23K 26/06 ,  G02B 26/08

FI (3件)：

B23K 26/06 A ,  B23K 26/06 Z ,  G02B 26/08 E

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-161188
  
• 特開平3-180292
  
• 特開平4-182090