ウエーハのノッチ溝の面取り方法及びウエーハ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新井一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063670
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254845
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】ウエーハのノッチ溝の面取り加工の面粗度向上と高能率化が目的である。【解決手段】砥石5の中心O1でノッチ溝の縁に沿って面取りC1を行い、砥石中心O2に変更してノッチ溝の縁に沿って面取りC2を行う。同様に面取りC3,C4,C5を形成する。大径砥石を採用できる。砥石径の管理だけで外周の形状を保てる。面粗度が良い。

請求項（抜粋）：

円板状のウエーハのノッチ溝の面取り方法において、ノッチ溝面が形成されたウエーハと、ウエーハを保持する手段と、円板形で砥石軸を含む平面で切った外周の半径方向断面の先端がノッチ溝の最小曲率半径よりも小さな曲率半径を有する砥石を備えた砥石台と、ウエーハと砥石を、ウエーハの板面と平行な平面上でウエーハのノッチ溝に沿って相対移動できると共に前記平面に交叉する平面上でウエーハの面取り形状にほぼ倣って相対移動できる移動手段と、を用いて、(1)ウエーハ中心線と砥石中心線をくい違い交叉するように配設し、(2)ウエーハの板面に平行な平面上において工具軌跡を画くように砥石をノッチ溝に作用してノッチ溝に沿って砥石とウエーハを相対移動してノッチ溝に沿って面取りする(3)次にノッチ溝の面取り形状に従って前記平面に交叉する平面上で砥石とウエーハを相対移動して前記面取りした部分以外のノッチ溝に砥石とウエーハを対応させる(4)前記ウエーハの板面に平行な平面に平行な異る平面上において工具軌跡を画くように砥石をノッチ溝に作用してノッチ溝に沿って砥石とウエーハを相対移動してノッチ溝に沿って面取りして更に面取りをする(5)次にノッチ溝の面取り形状に従って前記平面に交叉する平面上で砥石とウエーハを相対移動して既に面取りした部分以外のノッチ溝に砥石とウエーハを対応させる(6)以下、同様にしてノッチ溝を多角形状に面取りすることを特徴とするウエーハのノッチ溝の面取り方法。

IPC (3件)：

B24B 9/00 601 , H01L 21/02 , H01L 21/304 621

FI (3件)：

B24B 9/00 601 H , H01L 21/02 B , H01L 21/304 621 E

Fターム (11件)：

3C049AA03 , 3C049AA11 , 3C049AA16 , 3C049AA18 , 3C049AB06 , 3C049BB02 , 3C049BB06 , 3C049BC02 , 3C049CA01 , 3C049CB01 , 3C049CB03

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