特許

J-GLOBAL ID：200903057211715968

レンズ面形状評価方法及び形状評価装置

発明者： 新保 晃平
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 園田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-132571
公開番号（公開出願番号）：特開2001-318025
出願日： 2000年05月01日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】形状測定結果より光学特性を推定し、これに基づいてレンズ性能を評価することにより、任意のレンズ面に適応可能で、光学特性との相関の高い形状評価法を提供すること。【解決手段】被測定物の輪郭形状測定を行う形状測定行程と、設計形状からの偏差である形状誤差を求める形状誤差抽出行程と、形状誤差から各レンズ高さにおける部分曲率を求める部分曲率導出行程と、各レンズ高さにおける単位曲率あたりの像面での光軸方向の焦点ずれ量である曲率比例係数を求め、これと部分曲率より焦点ずれ量を推定する焦点ずれ量推定行程からなるよう構成したこと。また、形状誤差抽出行程が、全部または一部の座標データに対して並進、回転座標変換をした後、設計形状からの偏差を求め、この自乗和を最小化するような一部または全部の並進量、回転角の最適値を求める取り付け誤差補正行程と、最適化された並進、回転変換をした後の設計形状からの差を求める設計形状分離行程とからなるよう構成したこと。

請求項（抜粋）：

被測定物の輪郭形状測定を行う形状測定行程と、設計形状からの偏差である形状誤差を求める形状誤差抽出行程と、形状誤差から各レンズ高さにおける部分曲率を求める部分曲率導出行程と、各レンズ高さにおける単位曲率あたりの像面での光軸方向の焦点ずれ量である曲率比例係数を求め、これと部分曲率より焦点ずれ量を推定する焦点ずれ量推定行程からなることを特徴とするレンズ面形状の評価方法。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  G01B 21/20 101

FI (2件)：

G01M 11/00 L ,  G01B 21/20 101 Z

Fターム (13件)：

2F069AA17 ,  2F069AA53 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069EE00 ,  2F069NN00 ,  2F069NN05 ,  2F069NN16 ,  2F069NN17 ,  2F069NN18 ,  2G086FF01 ,  2G086FF03 ,  2G086FF04