特許

J-GLOBAL ID：200903057215293723

カラーフィルタ製造装置および方法

発明者： 崎野 茂夫 ,  益田 和明 ,  鶴岡 真介 ,  酒井 利一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-118940
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292317
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 高精度でかつ効率の良いカラーフィルタ製造装置を提供する。【構成】 R,G,B3色のインクジェットをそれぞれ別個独立して生じさせる少なくとも1組の描画ヘッド6と、前記インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成される基板5を搭載し、前記描画ヘッド6と所定距離を有する平面内を移動する移動手段と、前記基板5と描画ヘッド6間の6自由度方向の相対変位を検出する変位検出手段と、前記描画ヘッド6から吐出されたインクジェットの前記基板5上における着弾位置を検出する手段9と、前記着弾位置の検出結果および6自由度方向の相対変位検出結果に基づいて前記基板5および描画ヘッド6間の6自由度方向の位置合せを行う位置合せ手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

R,G,B3色のインクジェットをそれぞれ生じさせる少なくとも1組の描画ヘッドと、前記インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板と描画ヘッド間の相対変位を検出する変位検出手段と、前記描画ヘッドから吐出されたインクジェットの前記基板上における着弾位置を検出する手段と、前記着弾位置の検出結果および相対変位検出結果に基づいて前記基板および描画ヘッド間の位置合せを行う位置合せ手段とを具備することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505