特許
J-GLOBAL ID：200903057220295254
ウエハチヤツク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252835
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067551
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 異なるサイズのウエハを吸着保持して平面矯正することができるウエハチャックを提供する。【構成】 半導体ウエハ1、21、22を搭載し真空圧により該ウエハを搭載面上に吸着保持するウエハチャックにおいて、前記ウエハの搭載面を複数の相互に独立した吸着領域6、7、8に分割し、各吸着領域に連通する真空排気路9、10、11を設け、該真空排気路上に各吸着領域への真空圧供給開閉制御手段13、14を設ける。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを搭載し真空圧により該ウエハを搭載面上に吸着保持するウエハチャックにおいて、前記ウエハの搭載面を複数の相互に独立した吸着領域に分割し、各吸着領域に連通する真空排気路を設け、該真空排気路上に各吸着領域への真空圧供給開閉制御手段を設けたことを特徴とするウエハチャック。
IPC (2件)：
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