特許

J-GLOBAL ID：200903057222571178

加速度センサ

発明者： 中 村 武
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-021756
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196965
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 静止加重から加速度までを検出することができ、温度ドリフトの少ない加速度センサを得る。【解決手段】 加速度センサ10は、8字状に形成した第1および第2の振動体12,14および連結部16,18,20を含む。中央部の連結部20から延びるように延長部22a,22bを形成し、その先端に重り24を取り付ける。第1および第2の振動体12,14の縁部に形成した支持部26a,26bを支持する。第1および第2の振動体12,14の同じ側の面に、第1および第2の圧電素子28,30を形成する。第1および第2の圧電素子28,30は、それぞれ分割した電極36a,36bおよび電極42a,42bを含む。電極36a,36bおよび電極42a,42bは、第1および第2の振動体12,14の長手方向の中央部を境として、その両側に配置される。

請求項（抜粋）：

2つの板状の振動体、前記2つの振動体の両端および中央部を連結するための連結部、前記2つの振動体の同じ側の面に形成され、2つの入出力部を有する圧電素子、および前記振動体の中央部に対応する位置に配置され、前記振動体に加速度による慣性力を得るための重りを含み、加速度によって2つの前記振動体が逆向きに変形するようにした、加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 ,  G01P 15/02 ,  G01P 21/00

FI (3件)：

G01P 15/09 ,  G01P 15/02 A ,  G01P 21/00