特許

J-GLOBAL ID：200903057237184510

テーブル移動誤差測定装置およびテーブル移動誤差測定装置を有するレーザ加工装置

発明者： 浅田 和彦 ,  小八木 康幸 ,  中島 直人
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-150094
公開番号（公開出願番号）：特開平9-308978
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】 テーブルに回転が生じた場合においても、テーブルの移動に伴う被処理物に対する処理位置の移動誤差を正確に測定することができるテーブル移動誤差測定装置およびテーブル移動誤差測定装置を有するレーザ加工装置を提供することを目的とする。【解決手段】 画像記録装置は、装置本体22に対してY方向に往復移動可能なテーブル23と、架台24上をX方向に往復移動する記録ヘッド25とを備える。記録ヘッド25には、感光材料26に画像を記録するための光学系36が配設されている。また、テーブル23の下方には、移動誤差測定用のレーザ光源33が付設されており、装置本体22上には、このレーザ光源33から出射されるレーザビーム1をの位置を検出するCCD37が固設されている。

請求項（抜粋）：

被処理物を載置して一方向に往復移動するテーブルと、前記テーブルに載置された被処理物に対して処理を行う処理部と、前記テーブルに付設されることにより前記テーブルと同期して一方向に往復移動するとともに、前記テーブルの移動方向と略平行な方向にレーザビームを出射するレーザ光源と、前記テーブルの移動方向に対して前記処理部による前記被処理物に対する処理位置と略同一の座標位置に固定され、前記レーザビームから照射されるレーザビームの位置を検出することにより前記テーブルの移動誤差を測定する検出手段と、を備えたことを特徴とするテーブル移動誤差測定装置。

IPC (3件)：

B23K 26/02 ,  B23K 26/10 ,  G01B 11/00

FI (3件)：

B23K 26/02 A ,  B23K 26/10 ,  G01B 11/00 A