特許

J-GLOBAL ID：200903057245259406

有機薄膜の製造装置および製造方法

発明者： 田辺 宏 ,  山本 洋 ,  荒井 三千男
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233463
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059161
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】 比較的大きな面積の基板に対応し、蒸発源-基板間の距離を短く設定することが可能であり、1回の成膜分に対応する材料を供給可能であって、有機薄膜の塗り分け作業が簡単に行え、混合物やドーピングされた有機材料にも対応でき、しかも比較的低い温度の蒸着にも対応可能な有機薄膜の製造装置および製造方法を実現する。【解決手段】 有機材料が溶媒中に溶解している原料溶液を供給する原料供給源と、この原料供給源からの原料溶液を一定量に調整して供給する供給量調整手段と、供給された原料溶液を気化する気化手段と、気化した原料が堆積して成膜される基板とを有し、前記気化手段は、供給された原料溶液を所定量貯留する蒸発皿と、この蒸発皿に貯留された原料溶液をその有機材料の気化温度よりも高い温度に加熱する加熱手段を有する有機薄膜の製造装置とした。

請求項（抜粋）：

有機材料が溶媒中に溶解している原料溶液を供給する原料供給源と、この原料供給源からの原料溶液を一定量に調整して供給する供給量調整手段と、供給された原料溶液を気化する気化手段と、気化した原料が堆積して成膜される基板とを有し、前記気化手段は、供給された原料溶液を所定量貯留する蒸発皿と、この蒸発皿に貯留された原料溶液をその有機材料の気化温度よりも高い温度に加熱する加熱手段を有する有機薄膜の製造装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

C23C 14/24 N ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (11件)：

3K007AB18 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4K029BA62 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DA01 ,  4K029DB11 ,  4K029DB17