特許
J-GLOBAL ID：200903057248078984
走査型探針測定方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-348542
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171029
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 走査型探針顕微鏡(SPM)を用いて試料の表面の幾何学的形状を測定する際、探針の先端角度θをゼロとした場合とほぼ同等の測定データが得られるようにする。【解決手段】 試料11の表面形状が図2(A)に示すようになっているとする。そして、図2(A)に示すように探針14の左側壁14aを垂直とした状態で一走査ラインを往動走査すると、図2(B)に示すラインプロフィルが得られる。次に、図2(C)に示すように探針14の右側壁14bを垂直とした状態で同一走査ラインを復動走査すると、図2(D)に示すラインプロフィルが得られる。そして、両ラインプロフィルから図2(E)に示すラインプロフィルを得ると、探針14の先端角度θをゼロとした場合とほぼ同等の測定データを得ることができる。
請求項（抜粋）：
試料の表面の幾何学的形状を先端角度θの探針の走査により測定する走査型探針測定方法において、前記探針の走査方向の一側壁を垂直とした状態で一走査ラインを往動走査して得られた往動走査測定データと、前記探針の走査方向の他側壁を垂直とした状態で同一走査ラインを復動走査して得られた復動走査測定データとに基づいて、一の測定データを得ることを特徴とする走査型探針測定方法。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
