特許
J-GLOBAL ID：200903057248664557
引上げ法による単結晶の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084603
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259089
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 単結晶の育成中に、もし種結晶ホルダが破損してるつぼ内に落下しても融液を汚染せず、そのため同一融液の再使用が可能で、融液交換の頻度を低減でき、その結果として製品の歩留り向上を図る。【解決手段】 引上げ軸22の下端に種結晶ホルダ26を介して種結晶30を装着し、るつぼ14の中の融液32に種結晶を接触させ、引上げ軸又はるつぼの一方あるいは両方を回転させながら種結晶を引き上げて単結晶を育成する。種結晶ホルダは、育成単結晶34を構成する元素のみからなる材料を用いて作製されている。育成単結晶と同一の組成の多結晶で作製してもよいが、機械的強度などの観点から、育成単結晶と同一組成の単結晶で作製する方が好ましい。
請求項（抜粋）：
引上げ軸の下端に種結晶ホルダを介して種結晶を装着し、るつぼの中の融液に前記種結晶を接触させ、引上げ軸又はるつぼの一方あるいは両方を回転させながら種結晶を引き上げて単結晶を育成する方法において、引上げ軸と種結晶とを連結するための種結晶ホルダが、育成する単結晶を構成する元素のみからなる材料によって作製されていることを特徴とする引上げ法による単結晶の製造方法。
IPC (3件)：
C30B 15/32
, C30B 29/28
, C30B 29/30
C30B 15/32
, C30B 29/28
, C30B 29/30
