特許
J-GLOBAL ID：200903057254907720
ホトマスクの検査装置と検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-038083
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243982
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 位相、振幅透過率・エネルギ透過率の実測手段を得て、所望する位相と透過率のパタンを像化するホトマスクの検査装置と検査方法を得る。【構成】 直線偏光ビームと、縮小光学系と2分割手段により分割された一方のビーム偏光方向を90度回転させたビームか他の無回転ビームを、検査対象ホトマスク109に通過させ上記2ビームを合成し、検光子113と光強度検出器114とにより、透過率・位相変化量を求める。
請求項（抜粋）：
直線偏光のビームを発生する手段と、上記ビームの断面積を縮小する手段と、縮小されたビームを2分割する手段と、分割された一方のビームの偏光方向を90度回転させる手段と、上記いずれかの偏光方向のビーム中に検査対象ホトマスクを設置し、かつ、上記ビームの進行を阻害せずに上記ビームに垂直な平面内を移動するステージと、上記90度回転した偏光方向のビームと他方の回転しない偏光方向のビームとを合成する手段と、合成光の光路中に設けた回転可能な検光子と光強度検出器とを備えたホトマスクの検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01N 21/59
, G03F 1/08
, H01L 21/027
, H01L 21/66
