特許

J-GLOBAL ID：200903057273405884

研磨砥石及びその研磨砥石を用いた研磨ホイール

発明者： 細貝 聡
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-172991
公開番号（公開出願番号）：特開平9-001461
出願日： 1995年06月16日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】 表面粗さが小さく、加工変質層の無い精密研磨が得られるようにした、研磨砥石及びその研磨砥石を用いた研磨ホイールを提供する。【構成】 SiO2 等の砥粒をアルギン酸ナトリウム等の水和層を形成する溶液中に混入して混濁液を形成し、その混濁液中に塩化カルシウム等の電解溶液を流し込み凝固させて研磨砥石を形成する。この研磨砥石を適宜の形状に裁断加工し、アルミ等から成る基台に配設して研磨ホイールを形成する。

請求項（抜粋）：

SiO2 等の砥粒をアルギン酸ナトリウム等の水和層を形成する溶液中に混入して混濁液を形成し、その混濁液中に塩化カルシウム等の電解溶液を流し込み凝固させて成る研磨砥石。

IPC (4件)：

B24D 3/28 ,  B24D 3/02 310 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24D 3/28 ,  B24D 3/02 310 A ,  H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 321 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-207672
  
• 特開昭57-207672