特許

J-GLOBAL ID：200903057277187563

イオン交換樹脂の評価方法

発明者： 庭山 信夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064128
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264524
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 イオン交換樹脂の評価方法に関し,使用に先立ち,厳しい条件で評価を行い良否を判定する評価方法を目的とする。【構成】 第1の純水1を評価すべきイオン交換樹脂2中を通過させて第2の純水3とし,第2の純水3を所定の温度に加熱してその中にウエハー4を浸漬し,ウエハー4を乾燥して第2の純水で処理したウエハーとし,第2の純水で処理したウエハーを用いて前記イオン交換樹脂2を評価するように構成する。また,前記第2の純水で処理したウエハーに吸着している不純物原子を分析して,前記イオン交換樹脂を評価するように構成する。また,前記第2の純水で処理したウエハーを酸化して酸化膜を形成し,その耐圧特性から前記イオン交換樹脂を評価するように構成する。

請求項（抜粋）：

第1の純水(1) を評価すべきイオン交換樹脂(2) 中を通過させて第2の純水(3) とし,該第2の純水(3) を所定の温度に加熱してその中にウエハー(4) を浸漬し,該ウエハー(4) を乾燥して第2の純水で処理したウエハーとし,該第2の純水で処理したウエハーを用いて前記イオン交換樹脂(2) を評価することを特徴とするイオン交換樹脂の評価方法。

IPC (3件)：

G01N 30/00 ,  B01J 47/14 ,  C02F 1/42

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭50-125314
  
• 特開昭48-037722