特許
J-GLOBAL ID:200903057281004120
研磨テープ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
新井 清子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-355254
公開番号(公開出願番号):特開平6-182670
出願日: 1992年12月17日
公開日(公表日): 1994年07月05日
要約:
【要約】【目的】研磨作業中あるいはクリーニング作業中に発生する微小な研磨屑や異物が、研磨テープと被研磨体との間で夾雑摩耗を起こすようなことがなく、品質の高い均一な研磨仕上げやクリーニング仕上げをなし得る研磨テープを提供する。【構成】研磨テープ用基材2と、該研磨テープ用基材2の上に形成されている粘着剤層3と、該粘着剤層3の上に形成されている不連続状の研磨層4とを有し、前記不連続状の研磨層4同士の間に粘着剤層3が露呈している研磨テープ。
請求項(抜粋):
研磨テープ用基材と、該研磨テープ用基材の上に形成されている粘着剤層と、該粘着剤層の上に形成されている不連続状の研磨層とを有し、前記不連続状の研磨層同士の間に粘着剤層が露呈していることを特徴とする研磨テープ。
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