特許

J-GLOBAL ID：200903057286305773

光学的むら検査装置および光学的むら検査方法

発明者： 上田 邦夫
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006965
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206344
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 対象物の光学的むらを自動的にばらつきなく検査することができる光学的むら検査装置および光学的むら検査方法を提供することである。【解決手段】 CCDカメラ17により検査対象物100を撮像し、検査対象物100の画像に対応する画像データを出力する。画像データを規格化することによって規格化画像データを得、規格化画像データに1次差分型オペレータを適用してエッジ画像データを得る。エッジ画像データに対してしきい値を設定してノイズ成分を除去する。さらに、エッジ画像データに検査ウインドウを設定し、検査ウインドウごとにエッジ画像データの積算値を算出し、積算値が判定基準値を超えるか否かにより光学的むらの有無を判定する。

請求項（抜粋）：

対象物の光学的むらを検出する光学的むら検査装置であって、前記対象物の画像に対応する画像データを規格化することにより規格化画像データを得る画像データ規格化手段と、前記規格化画像データに基づいて前記規格化画像データの隣接画素間の値の変動が大きい部分を表すエッジ画像データを作成するエッジ画像作成手段と、前記エッジ画像データに所定の大きさの検査ウインドウを所定画素数ずつずらせながら設定し、各検査ウインドウ内の前記エッジ画像データの画素の値を積算する積算手段と、前記積算手段により得られた積算値に基づいて光学的むらの有無を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする光学的むら検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01N 21/89 A ,  G01B 11/30 G ,  G01N 21/88 J