特許
J-GLOBAL ID:200903057301665374
画像処理装置及び画像処理方法及び半導体パッケージ外観検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
武 顕次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-161785
公開番号(公開出願番号):特開平6-222012
出願日: 1993年06月30日
公開日(公表日): 1994年08月12日
要約:
【要約】【目的】 多品種の半導体パッケージの外観を多項目にわたって検査するに際し、高速検査を可能とする外観検査装置を提供すること。【構成】 画像取り込み手段9で取り込んだ半導体パッケージ1の同一画像を、複数の画像メモリに記憶し、各画像メモリと1対1に配置した複数の処理ユニットで各々異項目の検査を並行して行う。【効果】 異項目の検査を並行して行うことができるので、検査を連続して行うよりも検査時間が短縮でき、高速検査が可能となる。
請求項(抜粋):
被検査物の画像を取り込む画像取り込み手段と、該画像取り込み手段で取り込んだ被検査物の同一画像を記憶する複数の画像メモリと、該複数の画像メモリと1対1で対応する複数の処理ユニットとを有し、該複数の処理ユニット毎に対応する前記画像メモリの画像を使用して各々異種の検査を並行して行うことを特徴とする画像処理装置。
IPC (5件):
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 400
, H01L 21/66
, H01L 23/50
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平4-237145
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画像分割並列処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-200819
出願人:松下電器産業株式会社
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