特許
J-GLOBAL ID：200903057304339486
静電チャックの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037572
公開番号（公開出願番号）：特開2000-233978
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】 自己の温度を正確に測定することができる静電チャックを容易にかつ確実に製造できる方法を提供すること。【解決手段】 窒化アルミニウム製のグリーンシートに形成されたスルーホール形成用孔9に高融点金属粒子を含む導電性ペーストP1 を充填し、導電層6を形成する。次に、グリーンシートと導電層6とを同時焼結させる本焼成を行う。その後、導電層6における露出面E1 に熱電対5の構成材料となりうる2種の金属体7,8を接合する。その結果、基板内温度を測定する機能を備えた静電チャック1が製造される。
請求項（抜粋）：
セラミックス焼結体製の基板からなり基板内温度を測定する機能を備えた静電チャックを製造する方法において、窒化アルミニウム製のグリーンシートに形成されたスルーホール形成用孔内に高融点金属粒子を含む導電性ペーストを充填することにより導電層を形成し、次いで前記グリーンシートと前記導電層とを同時焼結させる本焼成を行った後、前記導電層における露出面に熱電対の構成材料となりうる2種の金属体を接合することを特徴とする静電チャックの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/74
, C04B 35/58 104 U
4G001BA36
, 4G001BA61
, 4G001BB36
, 4G001BB61
, 4G001BC13
, 4G001BC33
, 4G001BC35
, 4G001BC51
, 4G001BC71
, 4G001BD03
, 4G001BD05
, 4G001BD38
, 4G001BE32
