特許
J-GLOBAL ID：200903057306738892
検査チャンバ及びそれを備えた装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-322640
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218462
出願日： 1990年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 容器を破壊することなく、容器の内側および外側の圧力差を利用して容器の密閉度を検査する。【解決手段】 軸線方向に向かうに従って外表面の断面積が漸次減少する密閉容器3の密閉度を検査する装置であって、内部が気密に保持されるチャンバー1と、このチャンバー1内に気体を供給しあるいはチャンバー1内の雰囲気を真空吸引する圧力調整手段17と、チャンバー1内の圧カを測定する測定手段21とを具備し、チャンバー1の内壁は、容器3の外壁面とほぼ相似形でかつ外壁面に近接して設けられていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
内部が気密に設けられるチャンバー内に密閉容器を収納し、上記チャンバー内の圧力を上記密閉容器内と異なる圧力に保持し、時間の経過とともに変化する上記チャンバー内の圧力を測定して上記容器の密閉度を決定することを特徴とする密閉容器の漏れ検査方法。
FI (2件)：
G01M 3/32 B
, G01M 3/32 A
