特許

J-GLOBAL ID：200903057330046314

表面弾性波素子および表面弾性波素子の製造方法

発明者： 鹿田 真一 ,  八郷 昭広 ,  中幡 英章 ,  桧垣 賢次郎
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243319
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097760
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 耐マイグレーション特性に優れ、電極が断線しにくく、信頼性の高い、また、耐用寿命の長い表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層と、ダイヤモンド層上に形成される圧電体薄膜と、特定の波長の表面弾性波を発生し、これを取出すために1対の電極とを備える表面弾性波素子であって、電極の少なくとも一方がダイヤモンド層の表面上に気相成長によりエピタキシャル成長させた銅電極であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド層と、前記ダイヤモンド層上に形成される圧電体薄膜と、特定の波長の表面弾性波を発生させ、これを取出すための1対の電極とを備える表面弾性波素子であって、前記電極の少なくとも一方が前記ダイヤモンド層の表面上に気相成長によりエピタキシャル成長させた銅電極であることを特徴とする、表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-040510
  
• 特開昭64-062911
  
• 特開昭51-110240
  
• 特開昭64-036115