リーク検出器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159966
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314717
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】真空容器のリーク検出のため、酸素イオン伝導性セラミックスを検出素子とし、従来のヘリウムリーク検出器等に比べ、サイズ、価格、検出感度、検出範囲などの点で優れたリーク検出方法及び装置を提供する。【解決手段】基準酸素分圧側に電極2を、測定対象真空側に電極3を、それぞれ酸素イオン伝導性セラミックス1の隔膜を介して設置し、それら電極2及び3の間の起電力値から酸素分圧比を計測する真空容器のリーク検出方法及び装置。セラミックス管の開口部は完全にコバール等の金属でリークが無いように真空フランジ4に溶着し、加熱用ヒーター5とその加熱温度制御用の熱電対6をその内部に挿入する。フランジ部4で対象とする真空容器10に接続し、セラミックス管をヒーターで加熱する。セラミックス隔膜の両側の電極2及び3の間の起電力値を計ることによりリークの有無の検知やその程度が計測できる。リーク箇所は、窒素ガスを真空容器のリークの発生しそうな部分に吹き付けることにより検出する。

請求項（抜粋）：

真空容器のリーク検出を目的として、基準酸素分圧側に電極2を、さらに測定対象の真空側に電極3を、それぞれ酸素イオン伝導性セラミックス1の隔膜を介して設置し、それら電極2及び3の間の起電力値から酸素分圧比を計測する方法を利用することを特徴とする真空容器のリーク検出方法。

IPC (2件)：

G01N 27/409 , G01M 3/00

FI (2件)：

G01N 27/58 B , G01M 3/00 Z

Fターム (23件)：

2G004BB01 , 2G004BB04 , 2G004BE11 , 2G004BE15 , 2G004BE16 , 2G004BE22 , 2G004BE23 , 2G004BJ02 , 2G004BJ03 , 2G004BL19 , 2G004BM07 , 2G004BM09 , 2G004BM10 , 2G067AA44 , 2G067BB12 , 2G067BB23 , 2G067BB33 , 2G067CC04 , 2G067CC18 , 2G067DD17 , 2G067DD18 , 2G067DD27 , 2G067EE12

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