特許

J-GLOBAL ID：200903057340800947

表面状態検査装置

発明者： 三浦 聖也 ,  河野 道生
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143627
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005115
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 被検面の状態を正確に検査できる表面状態検査装置を提供する。【構成】 レーザーダイオード(3)からの光をレンズ(4)により平行光(6a)し、当該平行光をλ/2板(5)を介してレチクル(1)の被検面(1a、2a)に斜入射させる照明手段と、被検面上の異物等で生じる散乱光をレンズアレイ7によりセンサーアレイ8上に集光する検出手段とを有し、λ/2板(5)が定める平行光の偏光方向(20)を照明手段の光軸と検出手段の光軸とを含む平面にほぼ平行にしている。この構成により、平行光のレチクルへの入射角度に誤差があっても、散乱光同士の干渉による散乱光の強度変動が小さく抑えられ、異物の大小の判別の間違いを犯しにくくなる。

請求項（抜粋）：

被検面に光を斜入射させる照明手段と前記被検面上の異物等で生じる散乱光を検出する検出手段とを有する表面状態検査装置において、前記照明手段が前記照明手段の光軸と前記検出手段の光軸とを含む平面にほぼ平行な方向に偏光した直線偏光光を前記被検面に入射せしめることを特徴とする表面状態検査装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-104243
  
• 特開昭56-030630
  
• 特開昭63-153451