特許

J-GLOBAL ID：200903057345637912

マスフローメータおよびそれを用いたマスフローコントローラ

発明者： 水口 秀
出願人/特許権者： 株式会社エステック
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-351681
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149017
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 生産コストの削減を図ることが可能なマスフローメータおよびそれを用いたマスフローコントローラを提供する。【解決手段】 流体をバイパスさせるバイパス流路1と、流体の流量測定を行うためのセンサ流路2とを並列的に設けてあるマスフローメータ3において、前記バイパス流路1が、断面ほぼ円形の孔19と、その軸芯が前記孔19の軸芯とほぼ一致するように配置されるガイド柱20と、このガイド柱20の外周に沿ってらせん状に設けられ、かつ外周面が前記孔19の内壁に当接するスパイラル板体21とを有している。

請求項（抜粋）：

流体をバイパスさせるバイパス流路と、流体の流量測定を行うためのセンサ流路とを並列的に設けてあるマスフローメータにおいて、前記バイパス流路が、断面ほぼ円形の孔と、その軸芯が前記孔の軸芯とほぼ一致するように配置されるガイド柱と、このガイド柱の外周に沿ってらせん状に設けられ、かつ外周面が前記孔の内壁に当接するスパイラル板体とを有していることを特徴とするマスフローメータ。

IPC (2件)：

G01F 1/00 ,  G01F 1/684

FI (3件)：

G01F 1/00 S ,  G01F 1/00 X ,  G01F 1/68 101 B

Fターム (11件)：

2F030CA04 ,  2F030CA10 ,  2F030CD13 ,  2F030CE17 ,  2F030CF05 ,  2F030CF08 ,  2F030CF09 ,  2F030CH03 ,  2F035EA01 ,  2F035EA04 ,  2F035EA06