特許

J-GLOBAL ID：200903057347558483

ウェーハの保持機構及びウェーハの保持方法

発明者： 堀岡 佑吉
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254946
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077181
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハの保持部分に発生する汚れや異物の付着等が低減されるウェーハの保持機構およびウェーハの保持方法を提供する事を目的とする。【解決手段】 ウェーハ2を保持する保持部3を有するウェーハの保持機構1において、前記保持部3と前記ウェーハ2との間に挟持されかつ前記ウェーハ2が保持されていないときに搬送可能な汚染防止フィルム4と、該汚染防止フィルム4を搬送する搬送機構部5とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持する保持部を有するウェーハの保持機構において、前記保持部と前記ウェーハとの間に挟持されかつ前記ウェーハが保持されていないときに搬送可能な汚染防止フィルムと、該汚染防止フィルムを搬送する搬送機構部とを備えたことを特徴とするウェーハの保持機構。

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 A

Fターム (4件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031MA37

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 真空吸引装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-336113   出願人：日東電工株式会社
• ウェーハ移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-336005   出願人：安藤電気株式会社

審査官引用 (2件)

• 真空吸引装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-336113   出願人：日東電工株式会社
• ウェーハ移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-336005   出願人：安藤電気株式会社