特許

J-GLOBAL ID：200903057348022749

照射を用いた表面状態検査方法及びその装置

発明者： 田中 一基 ,  弘中 和夫 ,  新原 良美
出願人/特許権者： マツダ株式会社
代理人 (1件)： 大浜 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-309148
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142153
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】 被検査面の色調に関係なく該被検査面の表面状態を精度良く検査することを可能とした照射を用いた表面状態検査方法及びその装置を提供する。【構成】 鏡面と認められる被検査面10aに対向して配置された光照射手段1から該被検査面10aに向けて所定の変化パターンを有する光を照射するとともに、上記被検査面10aにおいて反射された上記光照射手段1の像を撮像手段2によって撮影して上記変化パターンに対応する受光画像を作成し、さらに画像処理手段3によって上記受光画像に基づき上記変化パターンと異なる箇所を識別することで上記被検査面の表面欠陥を検出するに際して、200nm〜350nmの波長範囲の反射光のみを上記撮像手段2に取り入れて受光画像の作成を行なわしめるもの。

請求項（抜粋）：

鏡面と認められる被検査面に対向して配置された光照射手段から該被検査面に向けて所定の変化パターンを有する光を照射するとともに、上記被検査面において反射された上記光照射手段の像を撮像手段によって撮影して上記変化パターンに対応する受光画像を作成し、さらに画像処理手段によって上記受光画像に基づき上記変化パターンと異なる箇所を識別することで上記被検査面の表面欠陥を検出するに際して、200nm〜350nmの波長範囲の反射光のみを上記撮像手段に取り入れて受光画像の作成を行なわしめることを特徴とする照射を用いた表面状態検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/30 ,  H04N 7/18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-026253
  
• 特開昭56-101508
  
• 特開昭62-233710
  
• 特開昭60-169743