特許
J-GLOBAL ID：200903057350014664
製造プロセスを制御する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-303317
公開番号（公開出願番号）：特開平7-200040
出願日： 1994年12月07日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 とくにプロセス変数の数が増えた場合の、問題の発生源の識別を容易にする方法を提供する。【構成】 ケトル110には加熱ジャケット111が備えられており、ケトルの中身は撹袢装置114によって撹袢される。硝酸銀溶液供給槽116から供給された硝酸銀溶液と塩溶液供給槽118から供給された塩溶液が、硝酸銀溶液ポンプ120及び塩溶液ポンプ122、コンピュータで制御された弁124及び126を通じて投入される。硝酸銀溶液の流量と圧力は流量センサ130と圧力センサ128で監視される。塩溶液の流量と圧力は流量は流量センサ132と圧力センサ134で監視される。ケトル110内の中身112の温度、銀濃度、pHは温度センサ136、vAgセンサ138、pHセンサ140で監視される。すべてのセンサの出力は、診断コンピュータ142とプロセス制御コンピュータ144に供給される。
請求項（抜粋）：
製造プロセスを制御する方法であって、a)上記プロセスの動作中に、複数のプロセス変数と製品変数の両方あるいは片方を表わすデータを収集する工程と、b)多変量解析法を使用して、上記プロセスが管理されているかどうかを示す値を持つ代替変数を生成する工程であって、上記代替変数は、複数の中間変数の関数であって、上記中間変数の各々は、上記プロセス変数と製品変数の両方あるいは片方の重み付けされた関数である上記工程と、c)上記代替変数の値が所定の限界を外れたとき、上記中間変数のどれが、上記代替変数の値に主に寄与したかを判定する工程と、d)上記工程で判断された中間変数につき、上記プロセス変数のどれが、上記判定された中間変数の値に主に寄与したかを識別する工程と、e)上記工程で識別された上記プロセス変数を変更して、上記代替変数の値を上記所定の限界内に戻すために、上記プロセスを修正する工程とからなることを特徴とする製造プロセスを制御する方法。
IPC (2件)：
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