特許

J-GLOBAL ID：200903057352978687

板状物の搬送装置

発明者： 大河原 聡 ,  井上 高明
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-282640
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119784
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】表面に切削溝が形成された板状物であっても割れることなく搬送することができる板状物の搬送機構を提供する。【解決手段】板状物を吸引保持する吸引保持機構20と、該吸引保持機構20を第1の所定位置と第2の所定位置との間を移動せしめる移動機構133とを具備する板状物の搬送装置13であって、吸引保持機構20は、板状物保持部材21と、該板状物保持部材21の中心領域下面に配設された少なくとも3個の非接触式吸引保持器24と、板状物保持部材21の外周領域下面に配設され板状物の水平方向移動を規制する規制手段22とを備えている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

板状物を吸引保持する吸引保持機構と、該吸引保持機構を第1の所定位置と第2の所定位置との間を移動せしめる移動機構と、を具備する板状物の搬送装置において、 該吸引保持機構は、板状物保持部材と、該板状物保持部材の中心領域下面に配設された少なくとも3個の非接触式吸引保持器と、該板状物保持部材の外周領域下面に配設され板状物の水平方向移動を規制する規制手段と、を備えている、 ことを特徴とする板状物の搬送装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/301

FI (3件)：

H01L21/68 C ,  B65G49/07 H ,  H01L21/78 N

Fターム (21件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA28 ,  5F031GA35 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA13 ,  5F031JA04 ,  5F031KA02 ,  5F031KA11 ,  5F031KA20 ,  5F031LA15 ,  5F031MA23 ,  5F031MA34 ,  5F031PA16 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-127538
  
• 特開平2-312256