特許
J-GLOBAL ID：200903057360729521
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-090497
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285559
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】誤検出や検出漏れのおそれがなく、かつ被検査面が曲面の場合でも正確に欠陥検出を行なえる表面欠陥検査装置を提供する。【構成】撮像手段102の受光画像におけるストライプ模様の間隔が被検査面100の曲率によらずほぼ均一になるように設定された不等間隔のストライプ模様を被検査面上に映し出す照明手段101と、被検査面を撮像して得られる受光画像を画像データに変換する撮像手段102と、上記受光画像が被検査面上を所定方向に所定速度で順次移動するように駆動する駆動手段103と、撮像手段で得られる時間的に異なる複数の画像、すなわち動画像から画像中の移動物体の移動量を検出し、所定条件の移動物体を欠陥と判断する演算手段104とを備え、動画像を画像処理して移動物体を検出することで欠陥を検出し、かつ被検査面が曲面の場合でも受光画像上で一定の明暗パターンが得られる照明装置を設けた。
請求項（抜粋）：
被検査物体の被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、撮像手段で得られる受光画像におけるストライプ模様の間隔が被検査面の曲率によらずほぼ均一になるように設定された不等間隔のストライプ模様を被検査面上に映し出す照明手段と、上記被検査面を撮像し、受光画像を電気信号の画像データに変換する上記撮像手段と、上記撮像手段で得られる受光画像が上記被検査面上を所定方向に所定速度で順次移動するように駆動する駆動手段と、上記撮像手段で得られる時間的に異なる複数の画像、すなわち動画像から画像中の移動物体の少なくとも移動量を検出し、それに基づいて所定の移動条件の移動物体を欠陥であると判断する演算手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 Z
, G01N 21/88 Z
