特許
J-GLOBAL ID：200903057370501103
フレキシブル素子基板の製造方法及びその製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-215213
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145585
出願日： 1998年07月30日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 フィルム材に抵抗体などを印刷形成して製品とするフレキシブル素子基板の製造方法に関し、フィルム材をロール状で供給して生産性を向上させることが可能な方法を提供することを目的とする。【解決手段】 印刷用のマスクの全面積Sをn等分して所定の大きさの面積S/nとし、このS/n内に加工用の基準マークのパターンを2個以上と全面積S内にアライメントマークのパターンを2個設けると共に、印刷機3のテーブルに認識用部材を埋設し、これを用いて画像認識によりマスク位置合わせを行うことにより精度の高い印刷が可能となる。
請求項（抜粋）：
印刷面積Sをn等分した所定の大きさの面積S/n内にそれぞれ複数の個片の製品を得るためのパターンが形成されると共に、マスク位置認識用のマークを形成するパターンが形成された印刷用のマスクを準備し、このマスクを印刷機に装着した後、上記マスクにより形成されるマークと対応するように印刷機のテーブルに埋設した認識用部材上にカバーテープを貼り付けた状態でこのカバーテープ上にマスクを用いてマークを印刷し、続いてこの印刷されたマークを画像認識することによりマスク位置を認識して記憶した後、上記マークが印刷されたカバーテープを認識用部材から剥がすと共にマスクのマーク用のパターンを目止めし、続いてロール状で供給される樹脂フィルムからなる被印刷部材を印刷機のテーブル上に供給すると共に、上記マスク位置もしくは各印刷時におけるテーブルの認識用部材位置をあらかじめ記憶されたテーブルの認識用部材位置と比較してズレ量を求め、この求めたズレ量に基づいて上記印刷機のテーブル位置を補正して上記マスクを用いて所定のパターンを印刷し、続いて被印刷部材を間欠搬送することによりロール状の被印刷部材に連続して順次所定のパターンを印刷した後、この印刷済の被印刷部材を切断して個片の製品とするようにしたフレキシブル素子基板の製造方法。
FI (2件)：
H05K 3/00 X
, H05K 3/00 L
